硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱概述
硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點
Ø 在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
Ø 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到所需控制精度。
溫度記錄儀
a) 寬視角高分辨TFT彩色液晶屏
b) 六通道、無紙記錄方式
c) 曲線、數字、棒圖、總覽、報警、歷史畫面顯示
d) 通過網絡在PC機遠程查看本體畫面
e) 多功能面板按鍵
f) 批處理啟/停記錄，并生成數據文件
g) 數據安全保證
h) 400MB大內存
i) 二進制數據存儲
j) 網絡化數據冗余
箱體結構
a) 烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風道系統組裝而成
結構合理，外觀美觀大方；
b) 箱體材料：外箱采用優質冷軋板噴塑，可防止微塵；
c) 內膽材料：采用優質SUS304鏡面不銹鋼板，并經堿 性蘇打水清潔
去油污避免烘烤PARTICLE；
