氣體質量流量計（MF5000系列）
產品簡介：
MF5000系列氣體質量流量計是矽翔微機電系統(tǒng)有限公司結合微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質量流量儀表，主要技術性能處于水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點；針對工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝和維護高精度MF5003,5006,5008氫氣氮氣空氣流量表產品特點：
-采用微機電系統(tǒng)芯片加工技術和大規(guī)模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
-在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
-傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質量流量計有*的改善。
-結合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性好，實現了計量準確可靠。
-技術進步帶來的結構簡化，使流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。
-采用LCD顯示“瞬時流量”和“累計流量”，清晰直觀，讀數方便。
-產品融合了電磁兼容設計技術，具有更高抗*力。
-流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。
-可以選配4～20mA標準電流信號輸出。
高精度MF5003,5006,5008氫氣氮氣空氣流量表技術參數：
精確度±（1.5＋0.2FS）％
測量范圍 0.01～65m／sec
測量管徑 1～19 mm
使用環(huán)境溫度：-20～65
顯示瞬時流量；累計流量
輸出模式 4～20mA；RS485；RS232；0～5V；脈沖
校準條件 20oC；101.325 kPa.
其他說明
| 型號 | 通徑 (mm) | 接口 (inch) | L | H | W | d | a | b | c |
| MF5003 | 3 | 1/8" | 85 | 124 | 35 | Φ3 | 25 | 16 | 50 |
| MF5006 | 6 | 1/4" | 95 | 127 | 35 | Φ6 | 25 | 18 | 50 |
| MF5008 | 8 | 3/8" | 105 | 134 | 35 | Φ8 | 25 | 22 | 50 |
| MF5012 | 12 | 1/2" | 116 | 137 | 40 | Φ12 | 30 | 25 | 50 |
| MF5019 | 19 | 3/4" | 152 | 149 | 40 | Φ19 | 30 | 40 | 70 |
| 型號 | 通徑 (mm) | 接口 (inch) | zui大工作壓力 (MPa) | 測量范圍 | |||
| sccm | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
| MF5003 | 3 | 1/8" | 3.0 | 15-1500 | 0.15-15 | ||
| MF5006 | 6 | 1/4" | 3.0 | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
| MF5008 | 8 | 3/8" | 3.0 | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
| MF5012 | 12 | 1/2" | 3.0 | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
| MF5019 | 19 | 3/4" | 3.0 | 10-1000 | 0.35-35 | 0.6-60 | |
