超純水設備是反滲透設備跟離子交換混床或EDI相結合配套使用，離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求。
超純水設備的整個工藝流程是先經過預處理，然后加藥殺毒，再經過RO反滲透系統，再使用離子交換混床或者EDI設備制取超純水。由于超純水對水質的BOD和TOC等物質的含量要求比較高，所以一般會采取二級反滲透，后面的工藝比則采取離子交換混床或者EDI的技術。離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽樹脂的氫根離子和陰樹脂的氫氧根離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求。離子交換法是目前國內外制水行業普遍采用的較為理想的方法，也是有效地化學法之一，離子交換是一種用陰陽交換樹脂對離子的選擇性及平衡反應原理，去除水中電解質離子的技術。其特點是利用離子交換樹脂在水中和鈣、鎂及鈉離子接觸交換，從而得到優質純水及高純水，水質安全可靠，是一套完整成熟的制水工藝，現廣泛為廣大用戶認可。
EDI作為制取超純水的設備，作為反滲透設備后的二次除鹽設備，可以制取出高達10-18.2MΩ.CM。EDI設備無需化學藥劑的再生，可以連續運行。在具體的應用中，僅調節EDI的運行電流就可以改變其出水水質。因此超純水設備廣泛用于微電子工業，半導體工業，發電工業，制藥行業和實驗室。也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產用水、發電廠的鍋爐的補給水，以及其它應用超純水。
