技術參數
PhoeniXL300 | PhoeniXL300Dry | PhoeniXL300Mudul | ||
zui小可檢漏率(真空模式) | mbar.l/s | <5x10-12 | <3x10-11 | <5x10-12/<8x10-12 |
zui小可檢漏率(吸槍模式) | mbar.l/s | <1x10-7 | <1x10-7 | <1x10-8 |
zui大可檢氦漏率(真空模式) | mbar.l/s | >0.1 | >0.1 | >0.1 |
抽氣口允許zui大壓強 | mbar | 15 | 15 | 15 |
分流方式下抽氣口允許zui大壓強 | mbar | 1000 | ||
設計名義抽速 | m3 | 2.550Hz 360Hz | 1.650Hz 1.860Hz | 16/2050/60HzD16B 25/3050/60HzD25B |
對氦的抽速 | l/s | >2.5 | >2.5 | >2.5 |
帶D16B泵時的分流抽速 | l/s | 1650Hz | ||
帶D25B泵時的分流抽速 | l/s | 2550Hz | ||
氦信號的反應時間 | s | <1 | <1 | <1 |
檢漏儀啟動時間 | min | <2 | <2 | <2 |
質譜室 | 1800扇形偏轉磁場 | |||
可檢質量數 | amu | 4;3;2 | 4;3;2 | 4;3;2 |
繼電器輸出 | 4 | 4 | 4 | |
SPS輸入 | 6 | 6 | 6 | |
測試口連接方式 | DN25KF | |||
手持遙控連接線長度 | m | 4zui長32 | 4zui長32 | 4zui長32 |
功耗 | VA | 420 | 350 | 350 |
尺寸 | mm | 495x456x314 | 495x456x314 | 495x456x314 |
重量 | kg | 40 | 37.5 | 29 |