低廢氣處理/空氣凈化/低溫等離子體廢氣處理成套處理設備凈化作用機理包含兩個方面：一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性*的O3，與有害氣體分子發生化學反應，zui終生成無害產物。
低廢氣處理/空氣凈化/低溫等離子體廢氣處理成套處理設備中的高能電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的健康效應，對人體及其他生物的生命活動有著十分重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“長壽素”。
廢氣處理成套處理設備的凈化作用還具備顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有優秀的消毒殺菌之功效。
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低溫等離子技術工業廢氣凈化，除臭；鍋爐脫硫脫硝，工業油煙凈化。
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