等離子監視器

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更新時間：2023-03-07 15:02:18瀏覽次數：218次

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產品簡介

品牌:歐姆龍產品名稱:等離子監視器型號:Z5PM系列監測2波長的等離子發光量

詳細介紹

品牌: 歐姆龍
產品名稱: 等離子監視器
型號: Z5PM系列
監測2波長的等離子發光量。
實現了、小型化、低價格。
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格。

E3F3-R87M檢測方式：回歸反射型，
導線引出式：M12 CN，
類型：金屬外表；PNP輸出，
螺紋柱狀光電傳感器，放大器內置，
具備接近傳感器外觀的光電傳感器
具有光電-IC技術的高抗干擾性種類：交流2線式，屏蔽型歐姆龍Z5PM系列。
形狀：M18。
檢測距離：5mm。
連接方式：M12 接插件型Z5PM系列
導線規格：-。
動作模式NC。
接近傳感器的的性能和品質。
磁性金屬有無檢測的標準型。
品種豐富。
可根據條件選擇適用機型。
防相互干擾功能的異頻機型品種齊全。
具有優異的耐環境性能。
標準導線的材質為耐油PVC歐姆龍Z5PM系列。
檢測面采用耐切削油材質。
標準采用導線護套。惡劣環境下也不易損壞的接近傳感器。
全不銹鋼機架。
耐鋁碎屑。
可嵌入安裝至金屬（鐵）中。
由歐洲Ecolab公司認證的耐化學藥品性。
備有導線引出型、直流3線NPN輸出、氟樹脂涂層型。E3Z-D61檢測方式:擴散反射型。
連接方式:導線引出式（2m）3、4歐姆龍Z5PM系列。
檢測距離:5m -100mm (廣視野）。
輸出方式：NPN輸出。
實現小型、長距離、節省電力和
節省能源的光電傳感器的標準型
E3ZM-LS89H檢測形式：BGS反射型，
連接方式：連接器型（M8·4極） 4，
輸出方式：PNP輸出，
不銹鋼外殼E3F3-D31 檢測方式：擴散反射型，
導線引出式：導線引出式，
類型：塑料外表；PNP輸出，
螺紋柱狀光電傳感器，放大器內置，
具備接近傳感器外觀的光電傳感器
具有光電-IC技術的高抗干擾性該放大器分離式接近傳感器可輕松調整靈敏度以檢測非磁性金屬歐姆龍等離子監視器。
檢測非磁性金屬（鋁、銅等）。
還備有小型扁平型傳感頭(E2CY-V3A)、耐藥品用氟樹脂型 (E2CY-C2AF)歐姆龍等離子監視器。
可以輕松調整靈敏度（單觸示教）。
數值化的檢測狀態一目了然（數字顯示）。
名稱：傳感器。
形狀：屏蔽，φ5.4。
穩定檢測距離：1.5mm歐姆龍等離子監視器。晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環保導線（無）。實現小型、長距離、節省電力和節省能源的光電傳感器的標準型
檢測距離/對對射型15m、回歸反射型4m、擴散反射型1mZ5PM系列。
的防止外部亂光計算方法，變頻熒熒光燈下也能工作歐姆龍Z5PM系列。
1、大限度降低電力消耗和含鉛材質的使用。
2、IP67保護構造，防止相互干擾功能， EN規格標準。防油型為IP67f。
3、光軸與機械軸的偏差控制在正負2.5°以內，光軸對合更容易。

關鍵詞：監視器傳感器