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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司


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全自動晶圓擴(kuò)晶機(jī) BW252FA SECM/GEM 功能擴(kuò)晶設(shè)備

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號BW252FA

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:林經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-06-16 11:38:31瀏覽次數(shù):293次

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商鋪產(chǎn)品:420條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:林經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

BW252FA全自動晶圓擴(kuò)晶機(jī)作業(yè)方式:步驟一:人工將貼附晶圓8吋Frame置于卡匣,放入入料倉匣;6吋空卡匣放入出料倉匣

詳細(xì)介紹

BW 252FA 全自動晶圓擴(kuò)晶機(jī)




作業(yè)方式:
步驟一:人工將貼附晶圓 8 吋 Frame 置于卡匣,放入入料倉匣;6 吋空卡匣放入出料倉匣。
步驟二:手臂 A 將入料倉匣中 8 吋 Frame 取出,移載經(jīng)讀取 Barcode 后,至整定模塊。
步驟三:因應(yīng)產(chǎn)品的區(qū)別及利于撕膜,整定 CCD 將 8 吋 Frame 旋轉(zhuǎn) 45 度,并判讀晶圓平邊與中心位置,進(jìn)行 X、Y、θ 對位補(bǔ)正。
步驟四:手臂 C 將整定完成的 8 吋 Frame 移載至擴(kuò)張模塊。
步驟五:擴(kuò)張模塊閉合,8 吋 Frame 向下拉伸擴(kuò)張。
步驟六:CCD 檢測擴(kuò)晶后晶圓外徑,若擴(kuò)張不足則補(bǔ)正。
步驟七:擴(kuò)張模塊內(nèi)刀切機(jī)構(gòu)上升切斷舊膜后下降復(fù)位。同時(shí),因應(yīng)產(chǎn)品的區(qū)別及利于撕膜,手臂 D 將貼模機(jī)構(gòu)完成貼片的 6 吋新 Frame 旋轉(zhuǎn) 45 度銜接給手臂 F 移至擴(kuò)張模塊。然后 CCD 檢測模塊與氣缸壓合模塊進(jìn)行切換。
步驟八:壓合模塊將 6 吋新 Frame 與舊 8 吋 Frame 壓合。
步驟九:壓合模塊復(fù)位,手臂 F 將 6 吋新 Frame 與舊膜翻轉(zhuǎn)并移載至撕膜模塊。
步驟十:手臂 E 將舊 8 吋 Frame 旋轉(zhuǎn) 45 度回位,由擴(kuò)




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