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TKF超高純?cè)诰€高流量氣體過濾器

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更新時(shí)間：2023-08-23 18:47:17瀏覽次數(shù)：289次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TKF超高純?cè)诰€高流量氣體過濾器316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、高溫動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用、DI水清洗后用熱氮烘焙，達(dá)到半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)、99%氦泄漏試驗(yàn)；應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。

詳細(xì)介紹

  • 品    名：在線高流量氣體過濾器


    品    牌 :  TKF


    閥體材質(zhì)：316L不銹鋼

     

    產(chǎn)品信息：

    1、316 L不銹鋼結(jié)構(gòu)；


    2、高溫動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用；


    3、體積小，沖擊或振動(dòng)可靠性高；


    4、寬范圍流量從30到120 SLPM；


    5、與高純度半導(dǎo)體工藝氣體的良好相容性；


    6、3納米顆粒過濾性能保持高效率和最小壓降；


    7、5ra電拋光表面防止內(nèi)部污染；


    8、DI水清洗后用熱氮烘焙，達(dá)到半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)；


    9、100級(jí)制造、清潔及包裝環(huán)境；


    10、99%氦泄漏試驗(yàn)；


     


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