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Mattson刻蝕機(jī)Asher設(shè)備 Aspen 3 Lite

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產(chǎn)品簡介

AspenIII基于具有接地法拉第屏蔽的專有ICP源設(shè)計(jì),為半導(dǎo)體制造商提供經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證且具有成本效益的剝離和蝕刻解決方案

詳細(xì)介紹

Aspen III 基于具有接地法拉第屏蔽的專有 ICP 源設(shè)計(jì),為半導(dǎo)體制造商提供經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證且具有成本效益的剝離和蝕刻解決方案。Aspen III 的平臺設(shè)計(jì)可處理 200 毫米和 300 毫米晶圓,并支持特殊晶圓處理,包括翹曲和半透明晶圓。的工藝室架構(gòu)可以滿足業(yè)內(nèi)的設(shè)備制造商跨多個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的技術(shù)要求。

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 平臺
    • 200 mm / 300 mm 橋接工具
    • 玻璃/石英/半透明晶圓處理
    • 翹曲 (> 5 mm) 晶圓處理
    • 雙晶圓室設(shè)計(jì),獨(dú)立晶圓控制
    • 單或雙工藝室選項(xiàng)
    • 高速機(jī)器人
    • 真空負(fù)載鎖
    • 安裝了 500 多個(gè)系統(tǒng)
  • ICP HT  / Strip 處理室
    • 專有法拉第屏蔽ICP源
    • 還原和氟化學(xué)能力
    • 耗材成本低
  • LiteEtch 工藝室
    • 高濃度氟工藝的各向同性蝕刻
    • 耐氟室設(shè)計(jì)
  •  eHighlands 蝕刻和剝離工藝室
    • 偏置能力
    • 低溫(10°C 至 80°C)能力
    • 低壓(5 mT 至 300 mT)能力

過程:

  • 塊狀光刻膠條
  • 離子注入后光刻膠去除
  • 表面處理
  • 表面殘留物去除
  • 聚酰亞胺返修/處理
  • 光刻返工
  • 表面鈍化
  • SiN / SiC 勢壘刻蝕
  • 抗蝕劑/BARC 回蝕

應(yīng)用:

  • 存儲設(shè)備制造
  • 邏輯器件制造
  • LED制造
  • CMOS傳感器制造
  • 功率集成電路制造
  • MEMS制造
  • 傳感器制造
  • 晶圓級封裝
  • 光電制造
  • 模擬/混合信號設(shè)備制造

關(guān)鍵詞:傳感器
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