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SAMCO二手翻新刻蝕系統刻蝕機RIE-10NR

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更新時間:2023-01-09 13:56:33瀏覽次數:764次

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產品簡介

SAMCO二手翻新刻蝕系統刻蝕機RIE-10NR產品優勢:高度緊湊型設計,節約空間

詳細介紹

SAMCO二手翻新刻蝕系統刻蝕機RIE-10NR

產品優勢:

高度緊湊型設計,節約空間;

均勻度-小于±5%超過8英寸;

30年的RIE蝕刻器生產工藝經驗;

具備大型晶圓處理能力,能夠處理8英寸晶圓;

易于操作-電腦化的觸摸屏顯示器;

ASMCO二手翻新刻蝕系統RIE-10NR

設備硬件配置

1. 可加工尺寸,8 wafer
2. 真空系統
EBARA 羅茨泵+OSAKA 分子泵
3. RF
AX-300 300W,13.56MHZ
4. 氣體
O2 200SCCM
CF4 200SCCM
AR 100SCCM
SF6 100SCCM
氣體可根據客戶需求更改
5. VAT 蝶閥
6. MKS 薄膜電容真空計

7. 配備冷水機


翻新內容

1. 真空泵翻新;
2. MFC 校準翻新;
3. 腔室 parts 翻新;
4. 真空管路波紋管及密封件更換;

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