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長沙沛鈺進出品貿易有限公司


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1200℃雙管滑動式四通

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聯系方式:長沙市岳麓區天馬路科教新村5區三棟304(大學城辦事處)查看聯系方式

更新時間:2023-02-28 09:30:48瀏覽次數:152次

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產品簡介

產品詳情型號:OTF-1200X-4-C4LVS產品概述:OTF-1200X-4-C4LVS雙管爐是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究

詳細介紹

產品詳情

型號:OTF -1200X-4- C4LVS

產品概述:OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。


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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱

1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統


視頻

2.1.png

操作視頻

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儀表操作視頻

爐體結構

· 高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有的溫度均勻性.

· 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命/

· 爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.

密封法蘭系統全不銹鋼制作。


電源

電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險絲)


加熱溫度

溫度: 1100°C
連續溫度: 1000°C


加熱區

加熱區長度: 440mm


加熱和冷卻速度

的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關, 請點擊下圖可以看出的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前,要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 )

blob.png

石英管

外管:    OD100 x ID 96 x 1400, mm
內管:    OD80 x ID 75 x 1800 mm


真空法蘭

· 一對 SS304不銹鋼法蘭,通過用兩個高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空。

· 爐子底部裝有一對滑軌

· 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻。

· 為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預熱,然后滑到放置樣品的位置。

· 為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置。

OTF-1200X-4-C4-SL-UL 1.jpg OTF-1200X-4-C4-SL-UL 3.jpgOTF-1200X-4-C4-SL-UL 4.jpg

左法蘭(點擊查看大圖)                               右法蘭(點擊查看大圖)


· 極限真空度: 10^-2 torr (機械泵)
10^-5 torr (分子泵)

· 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)

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溫控儀

· 溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程序控制。

· 控溫儀表操作視頻

控溫精度: +/-1°C


混氣系統

4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控制.

· MFC 1范圍:  0~100 sccm

· MFC 2范圍:  0~200 sccm

· MFC 3范圍:  0~200 sccm

· MFC 4范圍:  0~500 sccm

· 氣路: 4

· 流量精度: 0.2%

· 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套

· 一個混氣罐.

· 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。

· 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量. 請看下圖

MFC 面板(點擊放大)

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真空泵

· 安裝在移動架底部的機械泵,真空度達 10-3 Torr.

· 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .

· 數字真空表安裝在一端的法蘭上.

選擇: 可以配分子泵,真空度達 10-5 Torr


作為基片用的25um厚的銅箔  (選配)

生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)

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尺寸(mm)

爐體: 550 x 380 x 520
移動架: 600x600x597


凈重

300 lb


保修期

一年質保期 (耗材:如爐管,“O"型圈,和加熱元件等不在保修范圍內)


認證

blob.png CE 認證


使用注意事項

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)




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