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上海納嘉儀器有限公司
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探針式輪廓儀/臺階儀/P-7StylusProfilerP-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境
P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
臺階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
軟件：簡單易用的軟件界面
生產能力：通過測序，模式識別和SECS / GEM實現全自動化
臺階高度：2D和3D臺階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲和形狀
應力：2D和3D薄膜應力
缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
大學、研究實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED：發光二極管
太陽能
MEMS：微機電系統
數據存儲
汽車
醫療設備
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