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北京北方大河儀器儀表有限公司
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GF135系列金屬密封熱質量流量控制器半導體產品金屬密封熱使用GF135診斷式壓力變化補償型(PTI)質量流量控制器確保關鍵流量過程的準確控制并使通量
GF135 系列金屬密封熱質量流量控制器
半導體產品
金屬密封熱
使用 GF135 診斷式壓力變化補償型 (PTI) 質量流量控制器確保關鍵流量過程的準確控制并使通量。“智能"質量流量控制器，該產品執行累積衰減比流量測定，無需停止過程氣體輸送。半導體制造商可利用該產品實時驗證過程氣體流量準確性、檢查泄漏情況并監視傳感器穩定性同時無需將流量控制器從氣路上拆除。
GF135 PTI MFC 將全金屬接液流路、穩定功能和過程氣體精度相結合，能夠改變各種淀積工藝的生產效率和吞吐率。
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