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深圳市萬德泉科技有限公司


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GM50A質量流量控制器

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更新時間:2022-08-29 11:41:19瀏覽次數:207次

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產品簡介

GM50A質量流量控制器MKS GM50A金屬密封數字質量流量控制器,滿量程范圍從5 sccm – 50 slm,精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度(GM51A除外)。EtherNet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬(0-5V或4-20mA)和數字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus......

詳細介紹

MKS GM50A金屬密封數字質量流量控制器,滿量程范圍從5 sccm 50 slm,精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度(GM51A除外)。EtherNet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬(0-5V4-20mA)和數字(RS-485DeviceNetProfibusEtherCATModbus)通訊接口可選。

GM50A是一種金屬密封的質量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。

對于當今市場上的質量流量控制器,GM50A可作為直接替代的產品,標準的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。

技術參數:

全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,50000SCCM。

控制量程:2% to 99%的全量程。

測量精度:全量程的1%

靈敏度:全量程的0.1%

熱機時間:小于2Min.

響應速度:小于2Sec.

輸入電壓:±15VDC@100ma

輸出電壓:0-5VDC

連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

數字:RS485或Device net或Profibus

法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4"等

材質:316不銹鋼。


例:型號GM50A013502R6M010(代表的是氣體介質是氮氣,流量是500sccm,配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male,通訊接口是DeviceNet,密封材料是金屬密封)


GM50A質量流量控制器 采購系列號GM50A

用于標準的氣體(SEMI Gas編號)


氮氣,N2 013
氨氣,NH3 029
六氟化硫,SF6 110


流量范圍,SCCM滿量程(相當于氮氣)


5 500
10 101
20 201
50 501
100 102
200 202
500 502
1000 103
2000 203
5000 503
10000 104
20000 204
30000 304
50000 504


裝配件(法蘭接口)

Swagelok 4VCR male R
1/4 Swagelok S





通訊接口


Profibus 4
RS485 5
DeviceNet 6
Analog 0 to 5 VDC(9針D型) A
Analog 0 to 5VDC (15針D型) B
Analog 4 to mA(15針D型) H


密封材料

標配:金屬 M






預留MKS的未來應用


標準 0


固化軟件版本


除非另有說明,MKS會安裝訂貨日期的固化版本軟件 10



滿量程流量為3位數字顯示,前兩位表示量程流量的有效數字,由小數點分開;第三位表示10的指數


注:氣體可選,*替代MKS 1479A質量流量控制器

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