潔凈室簡介：

潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室*主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非99%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

控管項目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產生。

3、溫度和濕度之控制。

4、壓力之調節。

5、有害氣體之排除。

6、結構物與隔間之氣密性。

7、靜電之防制。

8、電磁干擾預防。

9、安全因素之考慮。

10、節能之考量。

潔凈室重要性：

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。 潔凈室系利用EPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

光學微電子凈化工程結構材料：

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。

4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

電子無塵車間凈化參數：

換氣次數：100000級≥15次;10000級≥20次;1000級≥30次;

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa;

平均風速：10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃;

濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電;

噪聲≤65dB(A);

新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

凈化車間隔墻鋼化玻璃圓弧觀察窗示意圖

鋼化玻璃凈化觀察窗，大小為2400W*1200，窗戶離地高度為1.2米

設計方案：

光學微電子行業凈化工程設計方案分析對于常規電子廠房潔凈室空調的設計，應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生產工藝的要求作為前提。根據以往經驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機+FFU。總之，具體的方案選擇根據具體情況而定。

電子無塵凈化車間內部細節展示

半導體組件空間單位都是以微米計算，因此微塵顆粒沾附在制作半導體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴重后果。所有半導體制程設備都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中，這就是半導體潔凈車間的來由。

半導體潔凈車間有專業的建造廠家，如，擁有凈化工程B類二級資質的深圳市中建南方凈化設備有限公司。以下半導體潔凈車間的相關的技術和使用管理辦法：

1.半導體潔凈車間內部要確保粉塵只出不進，因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。

3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔凈車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃細菌等在潔凈車間內回旋停滯的機會與時間減至*低程度。

4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。

5.所有人或事物進出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導體潔凈車間內水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結構之帶電載子信道，影響半導體組件的工作特性。去離子水是*佳的溶劑與清潔劑，在半導體工業之使用量極為驚人!

7.半導體潔凈車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣 (98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。