型號：SP-MSM-4CZ
產品概述：SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐（采用Ar氣電弧對樣品熔融，提拉裝置提拉），其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體（帶有水冷夾層），真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶，如Ti單晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。
| 腔體 | l 采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水
l 腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品
l 腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵）
l 腔體尺寸：Φ257*360mm |
| 真空計 | 腔體上安裝有數顯防腐真空計和機械壓力表 |
| 電弧槍 | l 共有4個電弧槍，可讓樣品得到均勻的溫場（電弧槍都帶有冷卻水）
l 鎢電極直徑為Φ4mm
l 電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調節
l 起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V
l 熔煉溫度可達3000℃ |
| 樣品臺 | l 采用水冷銅坩堝
l 可投如樣品量為60g(按鐵計算) |
| 提拉機構 | l 控制器控制提拉機構的提拉速度，轉速和轉速
l 提拉速度：0.2-10mm/h
l 提拉行程：0-70mm
l 轉速：0-40RPM |
| 控制單元 | 可顯示和設置單晶生長的參數（起弧電流，提拉桿轉速，提拉行程和轉速） |
| 真空泵 | l 設備中配有一分子泵系統（機械泵+渦旋分子泵）
l 抽氣速率：100L/S
l 可使設備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內) |
| 循環水冷機 | l 功率：800W
l 水流速度：58L/min
l 制冷能力：5004W（17500Btu/hour）
l 溫度控制：5~30 °C |
| 設備尺寸 | 800mm（L）*800mm（W）*1500mm(H) |
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