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北京眾星聯恒科技有限公司

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軟X射線CCD相機-ALEX成像系列

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更新時間:2021-06-29 17:40:13瀏覽次數:590次

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軟X射線CCD相機-ALEX成像系列


1:

1.jpg


產品特點:

光學面材料:Au,Ni,Mo,etc...

*的復制技術

光譜范圍:EUV(60-200eV)

SXR(200-2000eV)

j鏡片形態:橢球鏡,拋物面鏡,也可根據需求定制其他非球面鏡

典型表層粗糙度:Ra≈0.3-2nm

典型尺寸:直徑(D)5-250mm;長度(L)10-100mm



2.MFO

MFO是一款應用于軟X射線和EUV波段的光學器件,有兩組相互垂直的極薄反射鏡組成,光子通過掠入射角進行反射。MFO一般由玻璃,硅或金屬等薄片組裝而成。

可根據客戶要求定制多種形狀(如龍蝦眼,Kirkptrick-Baez等)

3.jpg


產品特點:

光學面材料:Au,Ni,Mo,etc...

寬視場(max±60°)

薄片厚度:30μm-1mm

孔徑:3x3mm-300x300mm

能量范圍:50eV-10keV)

平面,橢圓,和一般非球面

玻璃、硅和金屬

表層材料:Au, Ni, Mo, Pt, W...

1.基本參數

11.jpg111.jpg
Figure1: Geometry of an ellipsoidal mirror Figure2: Geometry of a parabolic mirror




Type L D1 D2 Z1 Zd Divergence

[mm][mm][mm][mm][mm][mrad]
RE_0850610.572100012
RE_0910056.67045300450
RE_10100781132450266090
RO_0016811.614145270X

Figure3: Parameters of standard mirrors


2.jpg22.jpg

Figure4: Ellipsoidal mirror,

Ni active surface, L=100mm

Figure4: Ellipsoidal mirror,

Au active surface, L=80mm


2.MFO

北京眾星聯恒科技有限公司


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激光等離子體源, Xe和Kr EUV輻射的聚焦強度分布。 MFO elliptical Kirkpatrick-Baez system. MFO橢圓K-B系統。


多層膜半反鏡

多層膜半反鏡

UV聚焦鏡

UV聚焦鏡

XUV高反射率鏡

XUV高反射率鏡

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