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成都沃特塞恩電子技術有限公司


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固態微波遠程等離子體源

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更新時間:2022-07-11 17:44:03瀏覽次數:309次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:47條

所在地區:四川成都市

聯系人:宛女士 (市場專員)

產品簡介

固態微波遠程等離子體源

詳細介紹

技術規格

項目

特征

頻率

2450MHz

微波功率

額定1.5kW,3kW

功率穩定度

≤1%

適用氣體

O2,N2, H2, Ar, He, CF4, SF6, CI2

運行氣壓范圍

0.06-20 Torr

氣體流量范圍

0.1-10 slm

等離子發生腔材質

石英、陶瓷、藍寶石可選

電源輸入

單相交流 110-264V/50-60Hz

冷卻方式

循環水冷, 8L/MIN, 5-25℃, 1/4"快速接口(固態微波源部分)
循環水冷, 3L/MIN,5-25℃

控制接口

DB9F / RJ45

等離子輸出端口

ISO-K 63

外形尺寸

350*250*140mm (等離子體放電腔部分)
450*308*318mm (固態微波源部分)

整體重量

50KG


應用范圍

前道及后道半導體生產工序中的去膠

前道及后道半導體生產工序中的刻蝕

柔性PCB卷對卷工藝制作中聚酰亞胺薄膜的刻蝕

材料表面處理



外形尺寸

等離子體放電腔

圖片1

固態微波源

圖片2



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