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成都沃特塞恩電子技術有限公司
固態微波遠程等離子體源
項目 | 特征 |
頻率 | 2450MHz |
微波功率 | 額定1.5kW,3kW |
功率穩定度 | ≤1% |
適用氣體 | O2,N2, H2, Ar, He, CF4, SF6, CI2 等 |
運行氣壓范圍 | 0.06-20 Torr |
氣體流量范圍 | 0.1-10 slm |
等離子發生腔材質 | 石英、陶瓷、藍寶石可選 |
電源輸入 | 單相交流 110-264V/50-60Hz |
冷卻方式 | 循環水冷, 8L/MIN, 5-25℃, 1/4"快速接口(固態微波源部分) |
控制接口 | DB9F / RJ45 |
等離子輸出端口 | ISO-K 63 |
外形尺寸 | 350*250*140mm (等離子體放電腔部分) |
整體重量 | 50KG |
前道及后道半導體生產工序中的去膠
前道及后道半導體生產工序中的刻蝕
柔性PCB卷對卷工藝制作中聚酰亞胺薄膜的刻蝕
材料表面處理
等離子體放電腔
固態微波源
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