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北京麥迪森科技有限公司
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更新時間：2023-03-06 18:42:35瀏覽次數(shù)：179次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線等離子體修飾系統(tǒng)，通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜
等離子體修飾系統(tǒng)，通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長過程中引入氧氣，不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中毒，降低形核密度，而且還能減小硫空位密度，從而實現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長。
利用等離子體修飾系統(tǒng)，在自限生長的前提下，目前已實現(xiàn)了兩英寸晶圓級高質(zhì)量單層二硫化鉬的外延生長（99%覆蓋度，成膜均勻），并通過改進轉(zhuǎn)移設(shè)備，實現(xiàn)了晶圓級薄膜的且襯底無損轉(zhuǎn)移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個藍寶石襯底上，而且沒有縫隙，沒有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米，相對取向為 60 o的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 o晶界。
等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢
1、有效避免固態(tài)源中毒；
2、成膜均勻性好；
3、成膜面積大；
4、快速、生長速度可控。
以上就是為您介紹的等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品，如果想要了解更多產(chǎn)品
信息請咨詢（微信同號）。
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