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沈陽科晶自動化設備有限公司


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2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC

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更新時間:2023-05-07 08:32:33瀏覽次數:299次

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經營模式:經銷商

商鋪產品:980條

所在地區:遼寧沈陽市

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產品簡介

2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC

詳細介紹

產品簡介:2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC是一款較大型高溫感應加熱熔煉爐系統,配備30KW感應加熱器、8.5"216mm)石英管、鉸接式法蘭及閥門、石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯、16L/min循環冷水機、真空泵和移動爐架,溫度可以達到2000(使用時石英管內需通入保護性氣體),是生長晶體、金屬熔煉和各種材料的熱處理的選擇。

2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC操作視頻

 

 

產品型

    2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

    1采用多塊氧化鋁制作的耐火材料,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。

    2設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。

    3溫控器采用PID方式控溫,可設置30段升降溫程序,設有過熱和斷偶保護功能。

    4配有防腐型真空計,當氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換,量程可到3.8×10E-5

          torr

    5迷你型浮子流量計精度為4%

    6配有雙級旋片機械泵(2L/s),可使石英管內真空度達到10E-2torr

技術參數

 感應加熱器

    1、工作電壓:三相AC 380V 50Hz(需60A空氣開關)

    2、工作電流:7Amps-70Amps(需100A空氣開關)

    3、功率:振蕩功率30KW,輸入功率15KW

    4、輸出頻率:30KHz-110KHz

    5、占空比:80%

    6、感應線圈:內徑Ø220 mm,高65 mm

    7、空氣冷卻:后風扇

 溫度控制器及熱電偶

    1、工作電壓:AC208V-240V  單相

    2、控溫精度:±3

    3、熱電偶:C型,外徑Ø1/4",長10"

    4、連續工作溫度范圍:1000-2000

    5、升溫速率:4/s1000-1200℃)、3/s1200-1500℃)、1/s-2/s1500-2000℃)

 石墨坩堝(易耗件)

    1、高純石墨坩堝:外徑Ø114mm內徑Ø100mm,高142mm

    2、容量:樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2,質量為4kg(以鐵標定)

    3溫層:石墨坩堝外環繞三層隔熱材料,從內至外分別為石墨氈(可耐溫2200℃)-氧化鋁(可耐溫1700℃)-

       溫氈,總厚度為32mm

                                 

 石英管和密封法蘭

    1、石英管:兩端開口,外徑Ø216mm,內徑Ø208mm,長500mm

    2部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭,裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥,設有11/4"的鎧裝接口(可插入熱電

        偶至石英管內部,更準確地測量樣品溫度)

    3、底部法蘭:設有KF25接口,可通過波紋管與真空泵相連接

                     

 水冷機

    1、溫度:5-30

    2、水流速:>16L/min

    3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作

    4、水壓:≥0.1MPa

    5、流量:≥5L/min

 (建議使用特定的冷卻劑液以達到的冷卻效果)

 真空泵

 工作電壓:AC208V-240V單相

 移動爐架

 尺寸:700mm×1000mm×700mm,鋼框架結構,方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管

產品規格

 

注意事項

 操作前,必須仔細閱讀說明書,且操作人員需帶防護面罩。使用時,熔煉必須在0.02Mpa 的流動氬氣下進行,流

 量小于200ml/min,需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓,若氣壓超過安

 全值,會引起石英管開裂、法蘭蹦出,甚至造成人身傷害。

其他事項

 本機可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學氣相沉積(HPCVD)系統。請參看下圖。

  



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