潔凈室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。
是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
AZ-100000級(jí)實(shí)驗(yàn)室安裝服務(wù)
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1.系統(tǒng) 室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例,二則取決于房間的工作參數(shù)。 2.潔凈度與換氣次數(shù) 房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數(shù),因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工藝要求,再?zèng)Q定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。 3.結(jié)構(gòu) 為了保證氣流幾乎不受干擾,就必須進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),必要的謹(jǐn)慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累 4.設(shè)計(jì)方案 要確定設(shè)計(jì)方案,必須先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮。發(fā)塵量大的車(chē)間不宜采用地面送風(fēng)形式,潔凈度要求高的車(chē)間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車(chē)間。 5.材料 作為潔凈室頂棚,墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒,以及幾乎不起塵的材料,另外根據(jù)房間不同的工作條件,還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定。 6.壓力和氣流 為了保證房間的潔凈度,必須防止外面污染氣流進(jìn)入室內(nèi),要達(dá)到這個(gè)目的,房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力,必須補(bǔ)充適當(dāng)?shù)男迈r空氣。 7.輔助設(shè)備 必要時(shí)還得安置一些輔助設(shè)備:如新風(fēng)口的空氣指示儀,隔斷上的傳遞窗等。這些設(shè)備必須適合房間的要求,并且必須真正了解其功能 8.人和物的控制 人和物是潔凈室的主要塵源,因此必須充分控制,例如:在進(jìn)入凈化房前,所有的人都要經(jīng)過(guò)人凈系統(tǒng),更換無(wú)塵衣,并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。 9.給排水和送風(fēng)裝置及電源 根據(jù)所要運(yùn)行的車(chē)間,提供必須的給排水裝置,送風(fēng)裝置和電源,這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì),同時(shí)不得有勃于空氣凈化系統(tǒng)。 潔凈室的規(guī)劃一般性的規(guī)劃重點(diǎn) 潔凈室的整廠規(guī)劃(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范圍極廣,需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項(xiàng)專業(yè)人才共同規(guī)劃,盡管不少潔凈室規(guī)劃,多需要就于既有的建筑物,然而,為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認(rèn)下列事項(xiàng): 1. 潔凈度等級(jí)。 | 2. 室壓之平衡措施。 | 3. 溫濕度要求。 | 4. 機(jī)器設(shè)備之必要性。 | 5. 確定生產(chǎn)流程。 | 6. 局部排氣之必要性。 | 7. 日后擴(kuò)充彈性。 | 8. 足夠維護(hù)保養(yǎng)空間。 | 9. 空調(diào)送風(fēng)方式。 | 10. 員工休息區(qū)之安排。 | 11. 設(shè)施與動(dòng)力之配置。 | 12. 室內(nèi)凈高與樓板載重。 | 13. 設(shè)備空間與管道間。 | 14. 門(mén)窗宜少,氣密性要佳。 | 15. 靜電、振動(dòng)及噪音。 | 16. 生產(chǎn)線與活動(dòng)線少交叉。 | 17. 公害、污染與防災(zāi)。 | 18. 安裝及運(yùn)轉(zhuǎn)成本之衡量。 |
潔凈室的動(dòng)線規(guī)劃
所謂[動(dòng)線],是指人員、原料之入室路線,與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時(shí),要檢討分析人(車(chē))路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)之流程等,盡量縮短動(dòng)線,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。 要點(diǎn): 1.作業(yè)者、材料、化學(xué)藥品等動(dòng)線勿集中。 2.制造裝置之出入,需不對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。 3.超潔凈室四周,宜設(shè)緩沖區(qū)(即較差潔凈區(qū))。 工業(yè)潔凈室(ICR)之潔凈度與適用和分類表 潔凈度 產(chǎn)業(yè)別 | 潔凈度(≥0.5μm,個(gè)/ft3) | | LSI制造工程 | | | | | | LSI組立檢查工程 | | | | | | (矽)單結(jié)晶 | | | | | | | | 照像光罩photo mask | | | | | 光阻涂膜photoresist | | | | | 一般液晶(tn,stn) | | | | | | | | 顯示用液晶(tft,mim) | | | | | | 投影用液晶(tft) | | | | | | 混合(hybrid)IC | | | | | | | | 印刷基板材料 | | | | | | | 印刷配線板 | | | | | | | | 電晶體、二極體 | | | | | | 精密電子部品 | | | | | | | 磁頭 | | | | | | | | 磁碟 | | | | | | 電腦、磁碟裝置組立 | | | | | | | 錄影帶、光碟 | | | | | | 照像底片 | | | | | | | 光織 | | | | | | | | 精密軸承 | | | | | | 光學(xué)鏡片 | | | | | | | 半導(dǎo)體制造裝置 | | | | | | 潔凈管及閥類 | | | | | | LSI制造用化學(xué)藥品 | | | | | | 精密測(cè)定機(jī)制造 | | | | | | | 清洗無(wú)壓衣 | | | | | | | 印刷、制版 | | | | | | | |
生物潔凈室(BCR)之潔凈度與適用和分類表 潔凈度 產(chǎn)業(yè)別 | 潔凈度(≥0.5μm,個(gè)/ft3) | | (醫(yī)藥品) | | | | | | | 抗生物質(zhì) | | | | | | | 注射藥 | | | | | | | 血清 | | | | | | | 藥劑包裝過(guò)程 | | | | | | 醫(yī)療用器具 | | | | | | (病院) | | | | | | | 無(wú)菌手術(shù)室 | | | | | | | 手術(shù)室 | | | | | | 無(wú)菌病室 | | | | | | | 調(diào)劑室 | | | | | | | (食品) | | | | | | | 牛乳·乳制品 | | | | | | 食肉·食肉加工 | | | | | | 煉乳制品 | | | | | | | 清酒·酒類 | | | | | | | 糕餅·豆腐 | | | | | | | 制果·面包 | | | | | | (動(dòng)物實(shí)驗(yàn)) | | | | | | | 飼養(yǎng)區(qū) | | | | | | 隔離區(qū) | | | | | | | 其他 | | | | | | | 磨茹·菌類培養(yǎng) | | | | | | 觀葉植物培養(yǎng) | | | | | | 化妝品 | | | | | |
美國(guó)太空署(NASA)之無(wú)菌室規(guī)范重點(diǎn)(NHB-5340.2) 無(wú)菌室(BCR)潔凈等級(jí) | 微粒子 | 微生物 | 粒徑 | 累積粒子數(shù) 個(gè)/ft3(個(gè)/L) | 浮游量 個(gè)/ft3(個(gè)/L) | 沈降量 個(gè)/ft2(個(gè)/M2) | 100 | ≥0.5 | ≤100(≤3.5) | ≤0.1(0.0035) | 1200(12900) | 10000 | ≥0.5 | ≤10000(≤350) | ≤0.5(0.0176) | 6000(64600) | ≥0.5 | ≤65(≤2.3) | 100000 | ≥0.5 | ≤100000(≤3500) | ≤2.5(0.0884) | 3000(323000) | ≥5.0 | ≤700(≤25) |
FS-209E潔凈度等級(jí)(1992年) 粒徑大小 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥5μm | 微粒子數(shù) | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | S1制級(jí) | 英制級(jí) | | | | | | | | | | | M1 | | 350 | 9.01 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | | | M1.5 | 1 | 1240 | | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | | | M2 | | 3500 | 35.0 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | | | M2.5 | 10 | 124000 | | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | | | M3 | | 35000 | 99.1 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | | | M3.5 | 100 | | | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | | | M4 | | | | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | | | M4.5 | 1000 | | | | | | | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | M5 | | | | | | | | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | M5.5 | 10000 | | | | | | | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | M6 | | | | | | | | 1000000 | 28300 | 6180 | 170 | M6.5 | 100000 | | | | | | | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | M7 | | | | | | | | 10000000 | 283000 | | |
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