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鄭州科佳電爐有限公司


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1200℃雙管滑道式CVD系統

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參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號KJ-1200T

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地

聯系方式:陳科查看聯系方式

更新時間:2022-09-01 15:58:31瀏覽次數:170次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:206條

所在地區:河南鄭州市

聯系人:陳科 (經理)

產品簡介

產品介紹:該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究

詳細介紹

產品介紹:
   該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。

應用范圍:
    廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
 


技術參數:

產品名稱

1200℃雙管滑道式CVD系統

部分: 1200度滑道雙管雙溫區管式爐

產品型號

1200度滑道管式爐

爐管尺寸

雙石英管

外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

內管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

加熱區

220+220mm

供電電源

230V,單相,50HZ

功率

4.0 kw

加熱元件

電阻絲

升溫速率

0-20°C/min

熱電偶

 K型

第二部分: 水冷系統

法蘭

1.水冷機 CW-3000

2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.

第三部分  真空系統

真空系統

1. 防腐數顯真空計   

2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體

第四部分  混氣系統

質量流量計

量程:

MFC 1: 0~10 sccm  

MFC 2: 0~200 sccm  

MFC 3: 0~10 slm  

MFC 3: 0~10 slm  

.......

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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