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鄭州科佳電爐有限公司
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產品介紹：該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究
產品介紹：
該系統是一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。
應用范圍：
廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
技術參數：
產品名稱 | 1200℃雙管滑道式CVD系統 |
部分： 1200度滑道雙管雙溫區管式爐 | |
產品型號 | 1200度滑道管式爐 |
爐管尺寸 | 雙石英管 外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 內管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm |
加熱區 | 220+220mm |
供電電源 | 230V，單相，50HZ |
功率 | 4.0 kw |
加熱元件 | 電阻絲 |
升溫速率 | 0-20°C/min |
熱電偶 | K型 |
第二部分： 水冷系統 | |
法蘭 | 1.水冷機 CW-3000 2.水冷，密封雙管的真空法蘭：允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發生反應，冷卻氣體直接通入內管. |
第三部分 真空系統 | |
真空系統 | 1. 防腐數顯真空計 2. VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口，波紋管和箱體 |
第四部分 混氣系統 | |
質量流量計 量程： MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm ....... | |
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